应用文献
半导体行业应用专题 | 半导体制造中TMAH浓度监测:从离线取样到在线分析的技术演进
四甲基氢氧化铵溶液(TMAH)的浓度一致性,是决定光刻显影工艺中关键尺寸均匀性与微机电系统体硅刻蚀中形貌精度的核心变量。随着制程节点演进至5纳米及以下,允许的浓度波动窗口已压缩至±0.01%量级,传统离线取样分析模式因固有的时间延迟、离散数据表征局限及人为干预不确定性,已构成先进过程控制体系中的关键测量瓶颈。本文系统梳理了TMAH浓度监测从离线检测到在线分析的技术演进,并分析了在线监测设备SemiChem APM 200的特点及其在TMAH应用场景下的适配性。该设备实现了对TMAH浓度的连续、高精密度实时监测,为解决显影液浴槽寿命动态优化、混配供液系统反馈控制及刻蚀速率预测性建模等核心工艺问题提供了可靠的数据基础。
半导体行业应用专题 | CMP Slurry均一性的一体化解决方案
复杂制剂应用专题 | 纳米混悬剂制备表征一体化解决方案
奥法美嘉平台提供整套的光刻胶用色浆均一性与稳定性解决方案,可用于快速评估、优化光刻胶色浆的配方和工艺:砂(珠)磨机对色浆进行研磨分散处理,高压微射流均质机对色浆浆料进行分散均质处理、Nicomp粒度分析仪分析平均粒径、AccuSizer颗粒计数器分析大粒子浓度,Lum稳定性分析仪快速分析色浆稳定性,Entegris-ANOW滤芯过滤杂质及大颗粒。
复杂制剂应用专题 | ALP_AN_008_CN_不溶性微粒的检测专题
半导体行业应用专题 | Slurry从生产到POU使用端的全流程LPC控制一体化解决方案
在半导体制造中,化学机械抛光(CMP)工艺用于去除晶圆表面的多余材料,实现全局平坦化,以满足后续光刻、刻蚀等工艺的要求。CMP工艺的效率和质量直接依赖于抛光液(Slurry)的性能,尤其是其中的大颗粒污染物(LPC)。LPC的存在可能导致晶圆表面划痕、缺陷增加,甚至影响器件的电学性能。因此,控制Slurry中LPC的数量是确保CMP工艺成功的关键。本文将详细介绍从Slurry生产到POU使用端的全流程LPC控制方案,结合实际应用案例,展示如何通过一体化解决方案提高CMP工艺的稳定性和良率。
电池行业应用专题 | MLCC陶瓷浆料均一性的一体化解决方案
奥法美嘉平台提供整套的MLCC陶瓷浆料均一性与稳定性解决方案,可用于快速评估、优化陶瓷浆料的配方和工艺:HM&M珠磨机用于研磨分散MLCC陶瓷浆料、Nicomp粒度分析仪分析平均粒径、Accusizer颗粒计数器分析大粒子浓度,Lum稳定性分析仪快速分析陶瓷浆料稳定性,Entegris-ANOW滤芯过滤杂质及大颗粒。
半导体行业应用专题 | 一文读懂 SemiChem 电化学滴定原理
不溶性微粒应用专题 | 主流药典不溶性微粒检测深度解读:从法规演进到技术应对
复杂制剂应用专题 | 高压微射流均质机在乳剂中的应用
不溶性微粒应用专题 | 2025版CP不溶性微粒更新解读:关于检查用水检测要求的解读
不溶性微粒应用专题 | 医药包材不溶性微粒检查的要求
仪器日常维护专题 | AccuSizer A2000 USP 日常维护Tips
电池行业应用专题 | 电解液洁净度对电池性能的影响
不溶性微粒应用专题 | 更新 · 中国药典不溶性微粒标准的演进之路 v.20
其他行业应用专题 | 颗粒计数器在日化护理产品上的应用
其他行业应用专题 | ALP_TN_207_CN_ 高压微射流均质机在MLCC行业的应用
Accusizer A7000SIS颗粒计数器在慢性肺栓塞患者呼吸困难相关性检测中的应用
慢性阻塞性肺疾病(COPD)的病理机制比较复杂,早期变化难以观察,传统评估方法中,作为COPD诊断金标准的肺功能检测虽能诊断疾病,但与呼吸困难症状相关性较差,影像学检查也难以建立呼吸困难与生理指标的直接关联。近年来,呼出气冷凝液(Exhaled Breath Condensate,EBC)分析逐渐受到关注,被认为是一种可无创评估气道状态的新方法。
复杂制剂应用专题 | 乳佐制备及表征一体化解决方案
理想的佐剂不仅能够增强免疫反应,而且能使机体获得最佳的保护性免疫。乳佐的均一性和稳定性是非常重要的两个考察项,而与此直接相关的是粒度的控制