通过单颗粒光学传感（SPOS）对CMP浆料进行超灵敏的在线监测

发布时间：2021-03-29

摘要： 我们已经开发了一个强大的工具，可以对CMP浆料进行连续的在线监控。我们的新AccuSizer 780 / OL系统基于单颗粒光学传感（SPOS）技术，可以快速，准确地确定大于0.5微米的“异常”颗粒的粒径分布（PSD），这可能会导致严重的缺陷。抛光过程中的晶圆表面。

关键词： SPOS技术,CMP浆料,AccuSizer 系列,粒径分布

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