Why online？ 为什么用在线？ | 省钱！ |
How？ 如何省钱？ | 提高良品率！ 提高过滤器的利用率，提高过滤器的使用寿命，减少宕机时间。 |
How？ 如何提高良品率？ | 快速揪出晶圆划痕的元凶⸺尾端大粒子，Large Particle Count(LPC)0.15-20μm。 CMP制程中Slurry的LPC及其容易变化，如外来污染，由于化学环境、CMP传递运输系统，泵的输送，因剪切力的改变而导致的粒子聚集。slurry本身就不稳定。所以控制CMP slurry的尾端大颗粒（LPC）对提高CMP良品率至关重要。 |
Who should use？ 谁应该使用？ | 研磨液(Slurry)的生产商，CMP SDS系统集成供应商，芯片IDM生产企业或晶圆代工厂 |
Where to use？ 在哪里使用？ | POU 端监控过滤效率，过滤前和过滤后。 选择合适的过滤器。 确保CMP工艺前CMP slurry中具有可控的LPC的量。 |
产品介绍 | INTRODUCTION
AccuSizer® Mini在线液体颗粒计数器，不仅能根据客户需求灵活匹配功能模块进行在线颗粒监测，还具备LE400、FX和FX Nano等多种传感器选项，以应对不同检测范围和浓度需求。 借助单颗粒光学传感技术（Single Particle Optical System，SPOS），该系列产品能够高精度地检测远离主峰的几个PPT水平标准差的LPC分布，并快速统计数十万个粒子，为生产过程提供真实可靠的数据支持。 针对研磨液（Slurry）浓度极高的特点，AccuSizer® Mini系列在线液体颗粒计数器可配置原液进样、一步稀释、二步稀释模式，适应多种样品类型。其自动化样品混合仓和传感器清洗功能确保了数据的准确性和一致性。 AccuSizer® Mini专为工业生产线设计，可通过PLC设备与企业LIMS系统集成，实现高效控制和监控。 |
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实时监控大颗粒数量（LPC） | 提高CMP制程良品率 |
产品优势 | HIGHLIGHT
应用领域 | Application | 功能和优势 | Features & Benefits | ||||
CMPslurry（研磨液）、复杂纳米制剂、墨水等需要监控大粒子数量（Large Particle Count）的领域 | 不同于LAB的设计理念，完全符合在线产品的需求。 | ||||
全自动化和模块化设计理念，大大减少维护成本和周期。 | |||||
自动稀释，专为用于高浓度的研磨液（slurry）的颗粒计数而设计。 | |||||
SPOS单颗粒计数技术，可对150nm的粒子进行量化计数。 | |||||
512通道的超高分辨率。可以量化极少数LPC。 | |||||
FX系列专为氧化铈而设计，相对于LE/LS SPOS来说，FX系列有超过200倍的检测浓度。 | |||||
自动稀释加持下，可对106/ml的浓度进行计数，一骑绝尘！ | |||||
SPOS 单颗粒计数技术 | 150nm 进行量化计数 | 512 通道的超高分辨率 | 106/ml 计数浓度 | ||
仪器原理 | PRINCIPLE
多种传感器 | Multiple Sensors | ||
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SPOS(LE+LS) 单颗粒光学传感技术原理示意图 AccuSizer Mini LE 系统 | SPOS(Focus Beam+LE) 聚焦光束计数技术原理示意图 AccuSizer Mini FX 系统 | Focused Beam+LS 聚焦光束纳米计数技术原理示意图 AccuSizer Mini FX-Nano 系统 |
应用案例 | APPLACATION
研磨液（Slurry）中尾端大颗粒数量监测 Detection of large counts in the CMP slurry line | |
研磨液（Slurry）作为化学机械抛光不可或缺的重要原料，在产线中经过严格的存储、混合、输送、过滤及颗粒检测流程后，才用于抛光作业。整个工艺流程如图1所示。在抛光前，使用AccuSizer Mini设备对研磨液进行尾端大粒子数量Large Particle Count（LPC）统计，确保LPC含量控制在规定范围内，以确保抛光质量和效果。只有当LPC含量达标时，研磨液才会被送入机台进行抛光作业。 | |
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图1 Slurry存储、混合、输送、过滤及颗粒检测工艺图 | 图2 AccuSizer Mini |
不同制程所应用的研磨液（Slurry）其平均粒径通常在几十纳米至上百纳米之间。然而，研磨液中大于1μm的颗粒（即 Large Particle Count，LPC）在抛光过程中可能对晶圆表面造成划痕，进而显著影响产品的合格率。因此，对LPC的定量检测不仅是评估研磨液质量的关键指标，更是确保合格率稳定的有效手段。通过严格把控LPC含量，可以助力生产商更好地控制产品质量，提升整体生产效益。 | |
右图清晰地展示了AccuSizer® Mini设备检测所得LPC计数呈周期性上升的趋势，而在过滤器更换后则出现显著的下降。这些LPC数据对于优化其他工艺参数，如混合系统的运行和储罐的操作，具有重要意义。通过深入分析这些数据，可以助力企业更加精准地调整工艺参数与更换滤芯，进而提升整体生产效率和产品质量。 |  |
某SDS（研磨液传送系统）Slurry检测谱图（检测＞0.56μm颗粒浓度） | |
仪器参数 | SPECIFICATION
性能规格 | AccuSizer Mini LE 系统 | AccuSizer Mini FX 系统 | AccuSizer Mini FX-Nano 系统 |
分析方法及原理 | SPOS（LE+LS） | SPOS（Focus Beam+LE） | SPOS（Focus Beam+LS） |
粒径检测范围 | 0.5-400μm | 0.65-20μm | 0.15-200μm |
传感器极限浓度 | 10,000颗/mL | 106颗/mL | 106颗/mL |
样本量 | 最小10mL | ||
精度 | 1μm PSL标准粒子粒径平均值±10% | ||
测量时间 | CMPslurry（研磨液） (Silicon)、墨水、纳米乳 | CMPslurry （研磨液）（Cerium） | CMPslurry（研磨液） （纳米级Silicon） |
安装要求 | |||
电源 | 3相电源插座（IEC C14插座）、100至240VAC最大功率5安培 | ||
压缩空气或气体 | 1/4’’push on、3.5至5.6 kg/cm2、50至80 psi | ||
水 | 1/4’’flare、1.8 to 2.5 kg/cm2、25至35 psi | ||
进样 | 1/4’’flare、0.2 to 2.1 kg/cm2、3至30 psi | ||
排液 | 1/4’’flare、零压力排放 | ||
尺寸 | 863.6mm*355.6mm*279.4mm（34’’* 14’’* 11’’） | ||
注：
1. 实际配置可能随系统升级发生改变，以成交时信息为主；
2. SPOS，Single Particle Optical Sizing光学单颗粒传感技术；
3. LE，Light Extinction, 光阻法；
4. FX, Focused Beam，光聚焦单颗粒计数技术；
5. LS，Light Scattering，光散射。
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