PSI10 小试型高压微射流均质机
PSI-20 小试型高压微射流均质机
PSI-30 中试型高压微射流均质机
PSI-40 中试型高压微射流均质机
PSI-100 生产型微射流高压均质机
AccuSizer® A7000 AD(Entegris) 多功能颗粒计数器
AccuSizer® A7000 APS 全自动计数粒度仪
LUMiSpoc 纳米颗粒计数器
Nicomp Z3000系列（Entegris）
LumiSizer 全功能分散体分析仪
FMS-Online在线液体颗粒监测仪
AccuSizer Mini 高浓度在线液体颗粒计数器
SemiChem 在线浓度监测仪
Nicomp Mini DLS 在线纳米激光粒度仪
化学机械抛光液（CMP slurry）的制取和使用过程中需要测试粒度分布和大颗粒的含量。使用传统的粒度 仪以及激光衍射仪器不可能完全检测和定量分析 CMP 的好坏，其尾端大粒子会导致研磨液划伤晶片，使 得生产芯片企业出现质量上不过关的难题。
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