SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪
SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪
SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪为工程师提供了准确性、可靠性和灵活性的过程监控，可以提高效率、保证晶圆制造的一致性，以满足更高的良率和容错的要求。在竞争激烈的微电子工业中，如果不使用复杂的监测和控制来确保晶圆制造的一致性，晶圆的制造成本将大大提高。
我们的SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪允许定量化学浓度。全在线化学监测能够实时校正溶液成分，从而稳定控制工艺条件、保持产品的一致性。
监控工艺过程中溶液的组分信息能够增加产品的产量。可能影响产品质量的变化在检测时会立即显现出来，并在产品质量受损之前迅速纠正。
优势
• 增加工具产量
• 降低化学品成本
• 实时过程监控
• 降低批量损失
• 降低所有者成本
产品选项
• 多个样本点
• 额外的5 mL数字滴定管
• 附加传感器
• 安全联锁装置
• 试剂低液位检测
应用
• 铜化学机械抛光
• 钨化学机械抛光
• 湿法蚀刻
• 清洁
• DSP+
• 氮化物蚀刻
• PAN蚀刻
• 食人鱼蚀刻
• HF
产品特点
• 4个4-20 mA 模拟输出
• 8个可编程继电器
• 以太网和 RS232 串口
• 彩色触摸屏
• 集成试剂储存
• 单采样点
• 1个5mL数显滴定管
• 多个传感器输入
规格
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分析方法 |
电位法/标准加入法/光度法 |
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精确度1 |
±0.2%显示值 |
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误差度1 |
0.2%相对误差 |
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测量时间 |
少于5分钟/分析(取决于应用) |
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校准频率 |
自开始起2 |
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样品消耗量 |
小于 5 mL/次 |
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样品量 |
0.05 至 5 mL（取决于应用） |
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样品温度 |
低于93℃(200℉) |
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耗水量 |
少于1000mL/次 |
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样品入口/返回 |
小于30 psi |
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0.5升/分钟 |
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1/4”外径扩口接头 |
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1”FPT 密封联轴器 |
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去离子水 |
20-40 psi |
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2升/分钟 |
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1/4”外径扩口接头 |
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CDA |
60-80 psi |
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1/4”外径快速接头 |
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过程排放 |
3/4”NPT 重力排放 |
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机箱排水 |
1/2”NPT 重力排放 |
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电源 |
110 /220 VAC，50 /60 Hz，1 /0.5A 现场可切换 |
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排水 |
1 7 /8” OD @ 17 CFM |
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外形尺寸 |
39.00”H x 27.00”W x 16.00”D |
1仅指“硬件”。应用、化学和工艺条件等外部因素会影响系统准确度和精密度。
2这不包括 pH 传感器的校准。有关详细信息，请参阅安装和操作手册。Entegris 相信此处包含的数据是真实的，所表达的意见是合格专家对所进行测试的结果的看法，这些数据不应被视为 Entegris 承担法律责任的保证或陈述。提供的数据仅供考虑、调查和验证。对这些数据和信息的任何使用都必须由用户决定，以符合联邦、州和当地的法律法规。所有规格如有更改，恕不另行通知。
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